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Ion Sputter Coater
제품소개
이온코터인 SPT-20은 DC 스퍼터링 원리를 이용하여 시료 표면에 전도성 물질(Au,Pt,Pd,Pt-Pd)을 코팅하는 장치입니다. 비 전도체인 시료도 전자현미경에서 관찰을 위하여 사용하며, 시료표면을 주사된 전자빔으로부터 보호와 전자흐름을 도와주는 장비입니다. 또한 얇은 박막형태의 전극 형성으로도 사용이 가능합니다.
어플리케이션
제품사양
| Target | AU& PT (Guarantee) |
|---|---|
| Target Size | 50mm |
| Power | AC 110-240V, 50/60Hz, 50W (except rotary pump) |
| Ionization Current | 0~9mA |
| Chamber Size | 100mm [Dia] |
| Dimension | 420(W)*220(D)*230(H)mm |
Optional Products
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